SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器使用教程
來源:上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間:2023-08-08 11:39
在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展下,投影光刻機作為一種重要的微細(xì)加工設(shè)備,廣泛運用于半導(dǎo)體行業(yè)、科學(xué)研究領(lǐng)域等。為了確保光刻機的高精度加工效果,提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性,投影光刻機空氣隔振器的使用就顯得尤為重要。本文將介紹SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器的使用方法,幫助用戶正確操作和維護設(shè)備。
1.在使用SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器之前,首先需要檢查隔振器的安裝是否正確。確保安裝位置平整穩(wěn)固,并且與光刻機底座連接緊密。同時,檢查氣源管道的連接情況,確保氣體能夠順利進入隔振器,維持正常的工作狀態(tài)。
2.接下來,我們需要了解如何正確操作SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器。首先,打開氣源開關(guān),保證氣體供應(yīng)正常。然后,通過調(diào)節(jié)氣源壓力控制閥,將隔振器內(nèi)氣囊的壓力調(diào)整到合適的范圍。過高或過低的氣囊壓力都會影響設(shè)備的工作效果,因此需根據(jù)實際需要進行調(diào)節(jié)。
3.隔振器內(nèi)的氣囊壓力調(diào)整完畢后,我們需要進行水平度和垂直度的校準(zhǔn)。首先,打開光刻機的水平校準(zhǔn)功能,并根據(jù)設(shè)備操作手冊的要求進行相關(guān)調(diào)整。對于垂直度的校準(zhǔn),可以通過控制氣源開關(guān)和氣囊壓力控制閥,來實現(xiàn)隔振器的升降調(diào)整。在調(diào)整過程中,需要注意保持光刻機的穩(wěn)定,避免產(chǎn)生任何不必要的震動。
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